集成電路用過氧化氫 - 含量的測定、酸度的測定

T/ICMTIA 2-2019 集成電路用過氧化氫

范圍
本標準規定了集成電路用過氧化氫(H₂O₂)的要求、試驗方法檢規則及標志、包裝、運輸、貯存。
分子式: H₂O₂
相對分子質量: 34.01(按2011年國際相對原子質量)

術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
PE: 聚乙烯
PP: 聚丙烯
FEP: 氟化乙烯丙烯共聚物
PFA : 全氟烷氧基樹脂
HDPE: 高密度聚乙烯

要求
性狀
本品為無色透明液體，具有腐蝕性和氧化性，溶于水、醇、醚。31%的H₂O₂在25°C時密度為1.11g/cm³，長時間放置會緩慢分解為氧和水，儲存時不能盛滿，不得超過滿容量95%，容器的蓋子應帶有透氣孔。
技術規格及指標




實驗方法
含量的測定
氧化還原滴定法(仲裁法)
準確稱取0.2g(0.18mL)樣品，精確至0.0001g，加25mL水，加10mL硫酸溶液(質量分數為20%)，用高錳酸鉀標準滴定溶液[c(1/5 KMnO₄)=0.1mol/L]滴定至溶液呈粉紅色，保持30秒不退色。過氧化氫(H₂O₂)的質量分數(X)按式(1)計算:

式中:
X ——過氧化氫的質量分數，%；
V ——高錳酸鉀標準溶液的體積，mL；
c ——高錳酸鉀標準溶液的濃度，mol/L；
17.01——[1/2 H₂O₂]的摩爾質量，g/mol；
m ——樣品的質量，g。

密度法
儀器
密度儀: 度控制精度±0.01°C，測量精度0.0001g/cm³。
濃度與密對應數據
將過氧化氫不同濃度-密度對應數據導入密度儀，形成濃度與密度對應關系曲線。
測試
按照儀器的操作規程，H₂O₂樣品直接進樣檢測，測試結束用純水清洗。

酸度的測定
稱取20g樣品，精確至0.01g，加入90mL無CO₂的水，滴加5滴溴甲酚氯-甲基紅混合指示液，用氫氧化鈉標準滴定溶液[c(NaOH)=0.01mol/L]滴定至溶液呈綠色，并保持30秒不退色。過氧化氫(H₂O₂)的酸度(X)按式(2)計算:

式中:
X ——過氧化氫的酸度，%；
V ——氫氧化鈉標準溶液的體積， mL ；
c ——氫氧化鈉標準溶液的濃度，mol/L；
49.04——[1/2 H₂SO₄]的摩爾質量， g/mol；
m ——樣品的質量，g。


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